膜层牢固度问题
我是做树脂镜片镀膜的,现到了一家新的公司,做的产品膜层牢固度经常有不好的,该注意的地方我也注意过(如:镜片的洁净度、离子源的工艺参数、镜片的除汽温度、镀膜真空度)还是不行。请求各位大侠帮忙还有那些方面该注意的或是有什么方法能解决的? 先谢谢了!补充:公司的镀膜机(韩国的都6年以上了)从来没有做过大保养,扩散泵的油几乎是没有换过。膜层牢固度与这个关系大不? 镀膜室干净吗?
镀膜速率快点看看 扩散泵返油不? 速率现已算快了,第一层SiO225埃ZrO2 7埃 试下调试离子源参数,我们以前是这样做的 {:12_131:}{:12_131:}{:12_131:}{:12_131:},谢谢! 真空有多高 这个速率有点快啊!SiO2做到1.5nm/s,ZrO2做到0.3nm/s差不多了
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