哪位大侠用EB蒸发过SIO,求帮助
今天用电子枪蒸发sio时,从坩埚里溅出好多,坩埚周围还有一些很细的粉末。哪位大侠镀过,请指点一二 ,最好有ic5的参数设置。 是不是速率太高了?将电压功率设小点试试 镀制工艺需要调整一下! 電流慢慢加大,控製在200-250ma之間進行鍍膜加工
镀SIO2的数据发来看看,我自己的经验1.电子枪电流及光斑大小.2.蒸发速率。3.膜料干净。4.开始有预热时就喷要动光斑看看。5.坩埚的问题。实际还要看你的工艺设计数据及预热方法。 镀这个材料对电子枪要求有点高了 用阻蒸 预熔不好,蒸发时的电子枪功率过大 功率及速率過高了,且需要進行預融喔,注意不要讓其噴藥。 好好学习天天向上
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