› 薄膜工艺 › 关于镀膜产生点子问题

zzcupid 发表于 2010-7-14 06:41:19

关于镀膜产生点子问题

各位前辈好！我近期在镀膜中零件表面老出现点子，而且在显微镜下看形状为长形的占大部份！不知道怎么解决，各位前辈有 什么好办法？、

1985120 发表于 2010-7-14 08:03:09

首先确定基片是没问题的，例如，清洗是否干净，是否腐蚀。然后再进行后续的查找。

gds 发表于 2010-7-14 09:24:34

是不是镀膜速率过高，在薄膜表面产生了缺陷？还有真空室是否洁净？。。。。

zzcupid 发表于 2010-7-14 09:49:52

经多次试验基片没有问题，镀膜速率不高，是成熟的工艺

zhenxing 发表于 2010-7-14 21:42:46

使用的什麼靶材,有些材料不純很容易噴藥.

zzcupid 发表于 2010-7-15 11:09:09

不是靶材，是蒸镀机，用的是点蒸发源，镀膜材料是SIO2 和OS-50，点子形状以长形为主

zhenxing 发表于 2010-7-16 00:22:34

檢查坩埚周圍的清潔度,鍍膜過程從視窗中觀察材料蒸發狀況.可考慮降低材料的蒸發速率,從而降低電流.以上均不行,那就是SIO2的純度問題了.

zzcupid 发表于 2010-7-18 10:18:20

x谢谢各位！

jeiyingjei 发表于 2011-3-22 20:47:28

学习

zcxiaoyu 发表于 2011-3-29 19:07:41

学习

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