berdun 发表于 2010-6-29 04:34:01

磁控溅射镀膜怎样获得稳定的绿色膜系？

我有一条立式磁控连续镀膜线，配有中频和直流电源，请教高手：怎样获得稳定的绿色膜系？

gandongdi 发表于 2010-6-29 13:50:24

控制好电流和速度。http://www.51zxw.net/study.asp?vip=1292200

simongong 发表于 2010-6-29 15:07:31

請問您是用的是什麼靶材?膜系穩定性因素太多,比如真空泵要長保持運\轉,靶材的消耗及時調整TF...

zhxinhua 发表于 2010-7-3 23:09:28

太复杂了，所有的工艺参数都要控制好

berdun 发表于 2010-7-7 17:33:47

我的是九室连续线，能做直流和中频，
那位兄弟有多层反应溅射工艺经验的，可以联系我。
berdun_zgm@163.c0m
13902755702

1985120 发表于 2010-7-8 01:40:38

学习一下！！！！！！

berdun 发表于 2010-7-9 02:41:51

引用第2楼simongong于2010-06-29 07:07发表的:
請問您是用的是什麼靶材?膜系穩定性因素太多,比如真空泵要長保持咿D,靶材的消耗及時調整TF...

电话联系好吗？15818793985

fan409512157 发表于 2010-12-27 20:55:31

用硅靶就可以得到不同颜色

interl5 发表于 2010-12-28 13:49:40

我是进来学习的
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