› 薄膜工艺 › 双面AR的时效性

fanyushan 发表于 2010-3-26 22:18:14

双面AR的时效性

各位好！
在1mm厚亚克力片材上，镀制Ti3O5，SiO2膜系的双面AR，后发现24小时后400nm—430nm波段，透过率有明显下降。
哪位能解释一下，或者有相应资料也行。

zhougb 发表于 2010-3-27 03:49:38

看一下反射率有没有问题。
如果反射正常，可能是膜层有吸收。可以充氧烘烤处理后看看透射是否有增加

longmin 发表于 2010-3-27 12:16:34

如果你沒使用IAD製程
光譜會因水氣的滲入
造成最後一層膜厚增加
自然短波部份穿透下降

weimao_liu 发表于 2010-3-28 22:16:27

看来，还是你的镀制工艺需要进一步完善。

大凯 发表于 2010-4-3 00:51:44

镀制工艺需要进一步完善

wazxq 发表于 2010-4-3 01:47:00

最好贴出之前之后的曲线。。。

lkwxb 发表于 2010-5-10 02:36:03

如果是漂移问题的话，你设计的时候考虑进去，做薄一点。我们的机做出来能飘15nm左右.

fanyushan 发表于 2010-5-10 21:00:51

谢谢楼上各位回帖

1985120 发表于 2010-5-16 23:01:47

最大可能是吸水气，漂移了！！！！！！！！！

cerel 发表于 2010-5-20 10:06:42

大家都好专业啊
来学习了

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