xx_912 发表于 2009-8-5 21:38:34

[/free]本发明书提供了一种通过测量多个角度反射谱 来同时获得薄膜等效折射率和厚度的设备和方法。该设备简 单，测量方便。该方法是根据入射光在空气－薄膜－衬底的界 面处两次反射会发生干涉，其干涉现象会从反射谱上表现出 来。因此只要测得两个不同入射角θ1和θ2含有干涉信息的反射谱R(θ1，ω)和R(θ2，ω)，采用薄膜反射率公式同时拟合这两个反射谱，得到相应的光程差Δ1和Δ2，根据折射定律，联立两个方程就可以得出薄膜的等效折射率n及物理厚度d。与传统方法不同的是该方法可以同时、方便、无损地测出薄膜的等效折射率和厚度，甚至可以用于镀膜过程的实时监控与在线检测。[free]
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longmin 发表于 2009-8-6 03:46:54

參考
謝謝樓主

tiger1986ren 发表于 2009-12-10 02:50:28

谢谢楼主，好东西

bairuizheng 发表于 2010-9-10 15:02:06

过来看看！

ngfcaipiao 发表于 2011-5-8 01:57:57

积分不容易啊！

bairuizheng 发表于 2011-5-9 02:22:17

谢谢。
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查看完整版本: 专利下载： 测量光学薄膜等效折射率及物理厚度的设备和方法