267206146 发表于 2008-11-8 15:33:14

什么是tooling值呀，它影响什么参数么，我只是听老师说起过！

工作中一直也没接触过tooling值的计算问题，老师傅也没用过，这两天看到论坛上说起tooling值，想请教一下什么叫tooling值，他用在什么地方，影响镀膜质量么。

gds 发表于 2008-11-9 17:20:12

tooling值是实际镀制的薄膜厚度（例如椭偏仪计算与光谱仪测量间接得到的膜厚）与理论膜厚（一般是晶控仪显示厚度）的比值吧，请别的大侠补充。。

mxbplayboy 发表于 2011-4-6 13:48:44

学习中

zyg1693 发表于 2011-4-27 08:18:38

它是石英晶体膜厚控制仪上用来控制膜厚的一个修正参数。

hgcoating 发表于 2011-6-8 08:38:47

tooling值找准了膜厚才能控制准确，不同材料tooling值也不一样。

书生123456 发表于 2011-6-13 14:38:59

谢谢！！！！！

280870377 发表于 2012-9-5 01:39:41

控制膜厚的参数

27676995 发表于 2013-11-8 17:12:44

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