陈平平 发表于 2009-9-5 19:38:02

Re你好

是你在上第一层SIO2的时候没有加离子源，或是SIO2上多了，在上第一层和第二层都是不用加温度的，到上第三层就要加温度了。
我们厂在电AL的时候真空要达到5。5-6才电。

lao7_tao 发表于 2009-9-8 00:13:26

这个其实是你的AL的蒸发功率太大，导致少量的W或是电极CU蒸镀上去了，所以会发黄！功率略降，钨丝用之前一定要处理！

王学深 发表于 2009-9-19 18:08:40

真空抽速低 放气量太大 清洗机器 提高抽速及蒸发速率

1985120 发表于 2009-10-8 15:48:34

说了好，学习学习！！！！！！！！！！

scott3180 发表于 2009-10-17 13:53:38

学习了 多了解一些知识

xuzhou 发表于 2009-11-1 20:27:05

镀膜时箱体的本底真空高一点大约在5.0E-5TORR左右,同时镀膜的速率至少达到40埃/秒,同时箱体的处于低温大约在30度左右.

jeiyingjei 发表于 2011-3-22 13:05:07

我也哟碰过

280870377 发表于 2012-9-5 01:42:24

AL膜氧化了，或者镀膜时不要加热，需要冷镀

sanma 发表于 2012-9-6 08:48:13

可能温度偏高了

accost 发表于 2013-11-21 13:15:33

学习！呵呵！
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