› 薄膜工艺 › 关于镀铝反射膜的工艺请求

xx_912 发表于 2005-12-29 21:07:58

试着在基片上添加粘结层，如铬。。。。

yls 发表于 2006-1-6 13:41:53

基片先用氧化铈擦一遍，镀前先轰击一下．蒸发速率要控制好．镀铝如果没有过渡层，也没有保护层，附着力肯定相当差．试试吧．

admond 发表于 2007-8-17 23:48:06

关于镀铝反射膜的工艺请求

　我用８０年代的钟罩式镀膜机，在Ｋ９的玻璃上镀一层ＡＬ，无保护膜．为什么附着力那么差呢？用胶带粘住一撕，整个膜层就给撕下来了．请求同行给点建议．
　真空度２*１０的-３帕，基片用无水乙醇和乙醚安１：１的混合液清洗的，镀膜室内无烘烤，无离子源清洗，采用电阻丝热蒸发．
　希望有同行能帮忙分析一下可能的原因，并提出一些改进方案，来提高附着力，谢谢你们了．

307212179 发表于 2007-8-19 03:22:38

你好：可以先镀SIO在镀铝在加SIO

xiaoji 发表于 2007-8-21 09:16:23

在镀铝前先镀上一层氧化铝
镀过铝后在镀上5层保护膜SIO2 /ZRO2/SIO2/ZRO2/SIO2
可以冷镀的   前提基地一定要干净

yls 发表于 2007-8-21 21:11:38

他的机器没有电子枪啊　　只能用阻蒸．

黑子 发表于 2007-8-23 12:50:17

我现在用的基本跟你的一样,但我们的不会有这种情况!
我先用AL2O3打底不要太多!,接着在镀AL!最后 加热到200度,真空到4.0*10-3 在镀保护膜
sio2+zro2
如果是无哄烤的话保护膜可以考虑不用 但镀时要注意蒸发的均匀性!

九门 发表于 2007-8-24 04:15:33

清洗镀膜机,基片用红粉抛光,镀膜前二次轰击,如再不行,考虑扩散泵有无反油

guou 发表于 2007-8-24 10:03:30

先镀ＡＬ２Ｏ３，再镀ＡＬ应该没什么问题的！充氧要控制好

omfalio 发表于 2007-8-25 10:40:13

都是有经验的人呐

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