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薄膜工艺
› 用透過算tooling可以嗎?
冻结の①份嗳
发表于 2011-7-2 01:39:22
可以呀
280870377
发表于 2012-9-5 01:39:02
可以,不管是测试透过率还是反射率,所测试出来的结果都能计算出膜厚,
新tooling=实际膜厚/设计膜厚(输入晶控仪的膜厚)*tooling(旧)
27676995
发表于 2013-11-8 17:13:47
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用透過算tooling可以嗎?